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中图分类法(3)
工业技术(3)
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1.
差动式迈克尔逊干涉纳米位移测量方法研究
作者：
王斌
关键词：
纳米位移测量
;
激光干涉仪
;
迈克尔逊干涉仪
;
相位差测量
;
测量方法
授予学位：硕士
学位授予单位：浙江理工大学
学位年度：2015
2.
激光合成波长纳米位移测量干涉仪的非线性误差分析与补偿方法研究
作者：
姚喜国
关键词：
激光干涉
;
合成波长
;
非线性误差
;
空气折射率
;
纳米位移测量
授予学位：硕士
学位授予单位：浙江理工大学
学位年度：2010
3.
激光合成波长纳米位移测量干涉仪的准直方法研究
作者：
魏若飞
关键词：
激光干涉仪
;
合成波长
;
角锥棱镜
;
四象限光电探测器
;
纳米位移测量
;
准直方法
授予学位：硕士
学位授予单位：浙江理工大学
学位年度：2010
1
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