面向纳米压印光刻设备的精密定位工作台的设计方法与实验

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• 作者：贾晓辉
• 学科专业：机械工程;机械制造及其自动化
• 授予学位：博士
• 学位授予单位：天津大学
• 导师姓名：张大卫田延岭
• 学位年度：2010
• 关键词：chi

摘要