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中图分类法(1)
工业技术(1)
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1.
压电驱动原子力显微镜的运动控制
作者:
许正昕
关键词:
原子力显微镜
;
压电驱动器
;
位置控制
;
轨迹跟踪控制
授予学位:硕士
学位授予单位:西安电子科技大学
学位年度:2012
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