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中图分类法(1)
工业技术(1)
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1.
氮化硅球表面类金刚石膜高温摩擦学性能的研究
作者:
刘官
关键词:
氮化硅球
;
类金刚石膜
;
退火温度
;
高温摩擦学性能
;
非平衡磁控溅射法
授予学位:硕士
学位授予单位:西安工业大学
学位年度:2015
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