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Elsevier电子期刊(8)

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1.Capacitively coupled radio frequency nitrogen plasma etch damage to N-type gallium nitride

作者：Retsuo Kawakami ; Atsushi Takeichi ; Masahito Niibe ; Masashi Konishi ; Yuta Mori ; Takuya Kotaka ; Takeshi Inaoka ; Kikuo Tominaga ; Takashi Mukai

关键词：Plasma etch damage ; N2 plasma ; n-type GaN ; Surface morphology ; N/Ga ratio ; Etch depth

刊名：Vacuum

出版年：2013

2.Surface damage of 6H-SiC originating from argon plasma irradiation

作者：Retsuo Kawakami ; Masahito Niibe ; Hideo Takeuchi ; Masashi Konishi ; Yuta Mori ; Tatsuo Shirahama ; Tetsuya Yamada ; Kikuo Tominaga

关键词：CCP ; SiC ; Plasma induced damage ; Surface morphology ; Si/C ratio

刊名：Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

出版年：15 November, 2013

3.Etch damage characteristics of TiO₂ thin films by capacitively coupled RF Ar plasmas

作者：Retsuo Kawakami ; Kikuo Tominaga ; Kenji Okada ; Takahiro Nouda ; Takeshi Inaoka ; Atsushi Takeichi ; Toshiaki Fukudome ; Kenichi Murao

关键词：Etch damage ; Ar plasma ; TiO₂ thin film ; Synergy effect ; Hydrophilicity

刊名：Vacuum

出版年：2010

4.Effect of argon plasma etching damage on electrical characteristics of gallium nitride

作者：Retsuo Kawakami ; Takeshi Inaoka

关键词：Argon plasma etching damage ; n-GaN ; Schottky contact ; Physical etching ; UV radiation

刊名：Vacuum

出版年：2008

5.Analysis of GaN etching damage by capacitively coupled RF Ar plasma exposure

作者：Retsuo Kawakami ; Takeshi Inaoka ; Shingo Minamoto ; Yasuyuki Kikuhara

关键词：Ar plasma ; GaN ; Etching damage ; Morphology

刊名：Thin Solid Films

出版年：2008

6.Simulation study of carbon impurity dynamics on tungsten surfaces exposed to hydrogen ions

作者：Retsuo Kawakami

刊名：Journal of Nuclear Materials

出版年：2006

7.Cascade collision of Fe-atom caused by low energy He-incidence and effect of temperature to the type of defect

作者：Mori ; Ichiro ; Morimoto ; Toshifumi ; Kawakami ; Retsuo ; Tominaga ; Kikuo

刊名：Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

出版年：1999

8.Anomalous electronic stopping and relaxation in the plasma and application of its theory to beam–surface interaction

作者：Mori ; Ichiro ; Morimoto ; Toshifumi ; Kawakami ; Retsuo ; Tominaga ; Kikuo

刊名：Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

出版年：1999

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