作者：任博远

关键词：精密测量 ; 动态干涉仪 ; 数据处理 ; 计算机技术

授予学位：硕士

学位授予单位：哈尔滨理工大学

学位年度：2017

作者：郭少炜

关键词：工件表面 ; 飞切加工 ; 中频波纹度 ; 光学性能

授予学位：硕士

学位授予单位：哈尔滨工业大学

学位年度：2016

作者：孙建军

关键词：三自由度测量系统 ; 激光外差干涉 ; 测量精度 ; 法拉第效应

授予学位：硕士

学位授予单位：浙江理工大学

学位年度：2017

作者：舒贻胜

关键词：微位移驱动 ; 静压膨胀 ; 刚度分析 ; 有限元分析 ; 结构设计

授予学位：硕士

学位授予单位：浙江大学

学位年度：2017

作者：于翰文

关键词：精密加工 ; 双驱动微量进给 ; 伺服系统 ; 动态特性

授予学位：博士

学位授予单位：山东大学

学位年度：2016

作者：徐威利

关键词：精密加工 ; 定位平台 ; 光栅传感器 ; PID控制 ; 误差分析

授予学位：硕士

学位授予单位：南京理工大学

学位年度：2016

作者：于杰

关键词：气体润滑轴承 ; 承载能力 ; 刚度特性 ; 有限元方法

授予学位：硕士

学位授予单位：大连海事大学

学位年度：2016

作者：刘慧贞

关键词：静压气体轴承 ; 狭缝节流 ; 壁面滑移 ; 表面粗糙度 ; 流量分布

授予学位：硕士

学位授予单位：大连海事大学

学位年度：2016

作者：谢建

关键词：机械装备 ; 加工工作台 ; 气浮支承 ; 结构设计

授予学位：硕士

学位授予单位：华中科技大学

学位年度：2016

作者：李岩

关键词：全柔性并联机构 ; 集成式类平面 ; 几何结构 ; 柔性铰链 ; 运动轨迹

授予学位：硕士

学位授予单位：江西理工大学

学位年度：2016