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中图分类法(5)
工业技术(5)
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1.
碳化硅宽带隙半导体薄膜的异质外延生长技术及其结构性质分析
作者：
张永华
关键词：
碳化硅
;
蓝宝石复合衬底
;
异质外延
;
结构
论文级别：
硕士
学位年度：2002
2.
锗硅异质结晶体管及其微波低噪声放大器技术研究
作者：
贾素梅
关键词：
锗硅异质结晶体管
;
低噪声放大器
;
SiGe材料物理参数
;
常压化学气相淀积
;
发射区台面自终止腐蚀
;
金属硅化物
论文级别：
博士
学位年度：2013
3.
以硅烷为气源用ECR-PECVD制备多晶硅薄膜
作者：
王阳
关键词：
多晶硅
;
薄膜太阳能电池
;
电子回旋共振
;
等离子体
论文级别：
硕士
学位年度：2006
4.
基于多孔硅衬底的碳化硅APCVD生长研究
作者：
赵楠
关键词：
碳化硅
;
多孔硅
;
常压化学气相淀积
;
异质外延生长
论文级别：
硕士
学位年度：2008
5.
硅基应变与弛豫材料的CVD生长动力学模型研究
作者：
金国强
关键词：
硅基应变与弛豫材料
;
生长动力学
;
生长速率模型
;
GROVE理论
论文级别：
硕士
学位年度：2011
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